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SMART系列產(chǎn)品是專門為實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用開發(fā)的一款小型高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)。功能與PTHC系列相同，可實(shí)現(xiàn)物料溫度控制、夾套溫度控制。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。適用于需要快速加熱和降溫的外部應(yīng)用，對(duì)玻璃反應(yīng)釜、金屬反應(yīng)釜、生物反應(yīng)器等進(jìn)行升降溫、恒溫控制，材料測(cè)試，尤其適合在反應(yīng)過(guò)程中有吸熱、放熱過(guò)程控制。

TLS精密冷水機(jī)：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機(jī)。型號(hào)按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機(jī)可以滿足精確控溫的需求，也可以根據(jù)客戶要求選配流量計(jì)和壓力傳感器。本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體制造裝置、分析檢測(cè)裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機(jī)，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

PTLQ系列氣體制冷機(jī)用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮?dú)?、氬氣等惰性氣體。進(jìn)氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過(guò)氣體制冷機(jī)降至目標(biāo)低溫。針對(duì)于晶圓測(cè)試載冷臺(tái)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，氣體制冷機(jī)相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢(shì)，如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無(wú)異味等。控制器可選配物聯(lián)網(wǎng)功能，可在手機(jī)APP上進(jìn)行遠(yuǎn)程查看數(shù)據(jù)、報(bào)警信息和遠(yuǎn)程操控?？蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來(lái)選擇設(shè)備，若樣冊(cè)無(wú)對(duì)應(yīng)型號(hào)可聯(lián)系本公司銷售人員進(jìn)行咨詢。

主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。